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射頻匹配器是將13.56MHZ的信號(hào)從高功率射頻電源耦合到負(fù)載,根據(jù)用戶(hù)負(fù)載的變化,改變自身電機(jī)的的位置來(lái)調(diào)節(jié)拍內(nèi)部的電容和電感,從而達(dá)到阻抗匹配的目的,以減少反射功率的目的。
射頻匹配器是將13.56MHZ的信號(hào)從高功率射頻電源耦合到負(fù)載,根據(jù)用戶(hù)負(fù)載的變化,改變自身電機(jī)的的位置來(lái)調(diào)節(jié)拍內(nèi)部的電容和電感,從而達(dá)到阻抗匹配的目的,以減少反射功率的目的。
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