等離子清洗機是目前清洗行業中發展較快的，主要是用于電離氣體的清洗，一般常見的事金屬、鋁銅等材質的清洗方面，等離子清洗機的清洗形式。等離子清洗總體來說分為化學清洗、物理清洗及物理化學清洗三中清洗形式

1、化學反應為主的清洗

化學清洗簡單的來說就是通過化學反應的方式來達到清洗地效果。等離子清洗機化學清洗的優點：清潔速度高、選擇性好和對清洗有機污染物比較有效，缺點：有可能生成的氧化物會再次形成。不過這個問題可以通過其他途徑來改善。

2、 物理反應為主的清洗

利用等離子體里的離子做純物理的撞擊，把材料表面附著的污垢去除掉， 經氬氣等離子體清洗后，能改變材料表面的微觀形貌，使材料在分子級范圍內更“粗糙”，能改善表面活性，提高表面粘結性。氬漿的優點是在材料表面上沒有殘留氧化物。不利之處在于，可能會產生過度腐蝕，或者污染物粒子重新聚集到其它地方，但通過精細調整工藝參數可以控制這些缺點。

3 物理化學反應同時存在的清洗

清潔物理反應和化學反應在反應中起著重要作用。在線等離子體清洗過程中使用Ar和O2混合氣體時，反應速率比單獨使用Ar或O2快。氬離子加速后，產生的動能可以提高氧離子的反應能力，因此物理化學方法可以去除污染嚴重的材料表面。

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