真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極構(gòu)成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來(lái)愈稀薄，分子距離及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng)，受電場(chǎng)作用，它們產(chǎn)生磕碰而構(gòu)成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以損壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的外表引起化學(xué)反應(yīng)。

真空等離子清洗機(jī)清洗效果會(huì)因電極布局不同而有著明顯差別，主要影響因素有電極選用材質(zhì)、正負(fù)極板布局和腔體尺寸大小等。對(duì)于電極內(nèi)嵌等離子清洗系統(tǒng)，電極完全暴露在等離子體區(qū)內(nèi)，而有些材質(zhì)的電極會(huì)被一些等離子體局部刻蝕或產(chǎn)生濺射現(xiàn)象，導(dǎo)致不必要的污染，還可能引起電極尺寸的微觀變化，進(jìn)而降低等離子清洗系統(tǒng)的穩(wěn)定性。等離子清洗速度和均一性受電極正負(fù)極板布局影響較大;

 通過(guò)縮短電極間距的方式來(lái)快速獲取等離子清洗，限制等離子體區(qū)域從而得到濃度很高的等離子體。電極間距增加后清洗速度開(kāi)始下降但均勻性漸漸增強(qiáng)，通常電極尺寸會(huì)限制等離子真空腔體的整體容量，在采用平行電極布局的等離子清洗設(shè)備內(nèi)，電極一般是作為料盒托架，大尺寸的電極單次能夠清洗的產(chǎn)品也比較多，可提高設(shè)備的運(yùn)行效率。而在采用垂直電極布局的等離子清洗設(shè)備內(nèi)，電極間距和電極深度約定了真空腔體的整體容量。

電極本身材質(zhì)也會(huì)受到等離子體的影響，應(yīng)當(dāng)通過(guò)改變電極間距來(lái)適應(yīng)等離子體特性的各種需求，在滿足工藝條件的情況下比較化料盒托盤(pán)使用面積。電極板主體由鋁板制作而成，外表作絕緣涂鍍處理，通過(guò)鋁板上電極端子與電源正極或負(fù)極接通，電極板可采取平行或垂直方式安裝于真空反應(yīng)腔體，電極板的極性與電極間距可按照不同應(yīng)用需求進(jìn)行選擇，便于激發(fā)出符合應(yīng)用要求的等離子體，也可以適當(dāng)改變真空腔體的尺寸來(lái)增加料盒托盤(pán)的數(shù)量和長(zhǎng)寬深等尺寸，提高清洗設(shè)備的利用率。

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